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OG水冷式臭氧发生器

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OG水冷式臭氧发生器

产品时间:2020-11-24 11:53

简要描述:

OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的,可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿台流程中。OG-5000系列设计紧凑,使用水冷系统,...

详细介绍
OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的,可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿台流程中。OG-5000系列设计紧凑,使用水冷系统,能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。

特征
  • 高纯度臭氧
  • 高臭氧浓度
  • 价格低
  • 无耗材
  • 设计紧凑,模块化
  • 经过验证的技术
应用
化学气相沉积 (CVD)
原子层沉积 (ALD)
氧化物生长
表面处理
灰化
颗粒清洁
光刻胶去除
其他

 

 


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