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MINI-ODS小型臭氧传输系统

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小型臭氧传输系统

产品时间:2020-11-24 18:09

简要描述:

Mini ODS 是紧凑但完整的臭氧输送系统,能够为许多晶元处理应用提供浓度高达 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。该系统虽然使用紧凑型设计,却是一个完整的臭氧输送系统,包含:高浓度臭氧发生...

详细介绍
Mini ODS是紧凑但完整的臭氧输送系统,能够为许多晶元处理应用提供浓度高达 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。该系统虽然使用紧凑型设计,却是一个完整的臭氧输送系统,包含:高浓度臭氧发生器、高浓度臭氧监测仪、基于微处理器的控制器和满足全部要求的调节器和气动装置。Mini ODS能够拓展支持额外的独立流程臭氧发生器,这些流程可需求不同浓度和不同流量的臭氧。该仪器操作和维护简单,不需求消耗品或预防性维护。该系统也能与通常湿法工艺中需求的溶解臭氧监分析仪交互。为了更加安全,该系统也能与TAPI的多通道臭氧泄露探测仪和臭氧破坏器子系统联锁。

规格
系统 :Mini ODS 
           完整并可立即使用的臭氧输送系统 
臭氧浓度 :超过320 g/Nm3 或 21.0% w/w 
臭氧流量 :1 slpm最优 (可选其他流量) 
臭氧出口压力 :15 到 40 PSIG (通常设置为 30 PSIG) 
环境温度 :5-35°C 
气源 :氧气 级别6或更高 
氮气 :级别5或更高(只用于掺杂) 
冷却用水 :温度 17 到 20°C 
流量 :根据配置 
设定值控制器 :自动伺服回路控制 
                         用户可编程的设定值 
                          - 发生器功率 
                          - 气体流量 
                           - O3浓度 
                          (最多同时且独立的控制两台O3发生 器) 
分析仪 :紫外臭氧浓度分析仪 (紫外溶解臭氧浓度分析仪 可选) 
气体流量控制器 :包含氧气和氮气的质量流量计 
调节器 :包含背压调节器 
显示 :2 行 x 40 字母,VFD 
模拟 I/O :1x 模拟输出, 0-5VDC 
                  1x 模拟输入, 0-5VDC 
数字 I/O :RS-232C, 双向 
                 2x 数字输入 
                  2x 数字输出 
电源 :208 到 240 VAC, 1θ 或 3θ 
尺寸 :19” x 13.7” x 18” (宽 x 高 x 长)  (48 cm x 35 cm x 46 cm) 
认证 :CE 
保修 :1 年

特征
 
设计紧凑
生成浓度超过21% w/w的臭氧
19” 机架固定或放置在桌面
价格低/无耗材
完整整合的产品包括:
- 高纯度臭氧发生器
- 高浓度臭氧分析仪
- 闭环伺服控制器
- 氧气质量流量计
- 氮气质量流量计
- 背压调节器
- 电-气分流阀

应用
 
化学气相沉积 (CVD)
原子层沉积 (ALD)
氧化物生长
表面处理
颗粒清洁
光刻胶去除
灰化

系统选项
 
臭氧破坏器
溶解臭氧分析仪
臭氧安全分析仪
可拓展控制额外的臭氧分析仪

 


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